全自动探针台
深圳市森东宝科技有限公司推出的全自动晶圆探针台系列产品，可适应4~12寸晶圆测试，可提供高低温、高电压、低漏电等不同测试环境配置。设备简单易用、性能稳定，具备高精度、高效率、低振动和低噪声等特点。
所属分类：
全自动探针台
- 产品描述
- 规格参数
- 资料下载
- 视频
-
功能和优点
专为各种晶片上的应用程序而设计
- 精度最高可达±1微米，采用全闭环运控系统，实现高精度、高效率和高鲁棒性定位运动
- IndexTime最小可达240毫秒，大理石底座，高刚性结构，实现高负载、低振动和快速整定运动
- 最大顶升力750kgf,Z轴四角一体化支撑，实现高负载或偏载情况下的形变量最小
- 测试温度范围-40至200℃,自主研发各类CHUCK,解决核心工艺问题，实现精准温度控制
-
C300 H300 T300 M300 适用场合 通用机型 通用机型 适用于三温 适用于存储 适用晶圆尺寸 12寸/8寸 适用晶圆厚度 200~2200μm 200~2200μm 200~2200μm 200~2200μm 综合精度 XY轴：±1μm
ZF轴：±2μmXY轴：±1μm
ZF轴：±2μmXY轴：±1μm
ZF轴：±2μmXY轴：±1μm
ZF轴：±2μmLndex time 240ms 240ms 240ms 240ms (X/Y:10mm, (X/Y:10mm, (X/Y:10mm, (X/Y:10mm, Z:0.5mm) Z:0.5mm) Z:0.5mm) Z:0.5mm) 针测压力 250kgf 250kgf 250kgf 250kgf 测试温度 常温 常温~150℃ -55~200℃ 常温~150℃ 测试机对接方式 Cable,Hard Docking, Cable,Hard Cable,Hard Hinge,
Auto-levelingDirect Docking Docking,Direct
DockingDocking,Direct
Docking通信接口 GPIB,RS232 GPIB,RS232 GPIB,RS232 GPIB,RS232 设备尺寸 1680mm(W)*1890m 1680mm(W)*18901680mm(W)*2080m 2000mm(W)*1890 m(D)*1490mm(H) mm(D)*14 m(D)*1490mm(H) mm(D)*14 90mm(H) 90mm(H) 设备重量 2000kg 2000kg 2000kg 2200kg 电力要求 220VAC 1.0KVA 220VAC2.0KVA 220VAC5.7KVA 220VAC2.0KVA 压缩空气气压 ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa 真空气压 ≤-60kPa ≤-60kPa ≤-60kPa ≤-60kPa ※支持伯努利手指，满足薄片要求 ※支持温度定制-60℃ ※ 支持自动换卡(APC) ※支持加装FFU,满足高洁净度要求 C200 H200 T200 T200HV 适用场合 通用机型 通用机型 适用于三温 适用于三代半 适用晶圆尺寸 8寸/6寸/5寸/4寸 适用晶圆厚度 200~2200μm 200~2200μm 200~2200μm 200~2200μm 综合精度 XY轴：±1μm
ZF轴：±2μmXY轴：±1μm
ZF轴：±2μmXY轴：±1μm
ZF轴：±2μmXY轴：±1μm
ZF轴：±2μmLndex time 250ms(X/Y:10mm,
Z:0.5mm)250ms(X/Y:10mm,Z
Z:0.5mm)50ms(X/Y:10mm,Z
0.5mm)50ms(XY:10mm,
Z:0.5mm)针测压力 150kgf 150kgf 150kgf 150kgf 测试温度 常温 常温~150℃ -55~200℃ -40~150℃ 测试机对接方式 Cable,Hard Docking Cable,Hard Docking Cable,Hard Docking Cable,Hard Docking 通信接口 GPIB,RS232 GPIB,RS232 GPIB,RS232 GPIB,RS232 设备尺寸 1300mm(W)*1542m 1300mm(W)*15421300mm(W)*1740m1300mm(W)*1740 m(D)*960mm(H) mm(D)*960mm(H) m(D)*960mm(H) mm(D)*960mm(H) 设备重量 1200kg 1200kg 1200kg 1200kg 电力要求 220VAC 1.0KVA 220VAC2.0KVA 220VAC 5.7KVA 220VAC5.7KVA 压缩空气气压 ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa ≥0.6MPa 真空气压 ≤-60kPa ≤-60kPa ≤-60kPa ≤-60kPa ※支持伯努利手指，满足薄片要求 ※支持温度定制-60℃ ※支持自动换卡(APC) ※支持加装FFU,满 足高洁净度要求
全自动晶圆探针台