CL-6 中端探针台
CINDBEST 高功率器件表征系统专为晶圆上高功率器件测试而设计。
CINDBEST CL-6 和 CH-8 探针台系统提供完整的150 mm和200 mm晶圆解决方案。
它们设计用于在宽温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。
CL 系列中端探针台
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用途
- 可以做光电方面测试应用,LED/LD/PD的光强/波长测试
- 可以进行射频测试，加装东/西方向针座,适合大学实验室通用
人体工程学和可选配置
- 可调节针座平台快速升降便于样品和探针快速分离
- 卡盘旋转转锁定
- 针座平台接受直流/射频定位器（磁性或真空安装）
- 提供多种配置，包括各种卡盘选项、微型定位器、显微镜、相机、PCB 支架等
- 可选的仪器架、隔振台、暗箱等等
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技术参数
型号 CL-6
台体
Chuck尺寸
6英寸
样品台抽拉
快速抽拉
样品台旋转
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
样品固定方式
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
样品台Z轴升降
可升降8mm
X-Y移动行程
6英寸*6英寸
X-Y移动精度
5um
针座平台
针座平台快速升降行程5mm,带锁死装置
背电极测试
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极(可选项)
显微镜
显微镜固定方式
龙门架带X-Y微调，移动范围2"×2"
显微镜便捷性
含快速倾仰装置，便于更换物镜，带锁死功能气动升降模块(可选)
显微镜类型
单筒显微镜
体式显微镜
金相显微镜
放大倍率
0.75-5X变倍
16X-100X
20X-4000X
光源
同轴光源
外置LED环形光源
CCD
200万像素(可升级2000万像素)
探针座
X-Y-Z移动行程
12mm*12mm*12mm/20mm*20mm*20mm
移动精度
10um/2um/0.7um/0.5um
吸附方式
磁力吸附/真空吸附
探针夹具
线缆
同轴线/三轴线/射频线
漏电精度
10pA/100fA/10fA
固定探针
弹簧固定/管状固定/爪式固定
接头类型
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口
探针
DC针尖直径
1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探针频率
40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
材质
钨钢/铍铜/镀镍
外形尺寸
750W*815D*650H
重量
约80千克
可选附件
加热台
镀金卡盘
高压测试配件
防震桌
屏蔽箱
激光系统
根据客户要求定制