CH 高端探针台
CINDBEST CH 型号探针台是一款功能齐全、兼容性强的探针台。
可以满足不同样品的测试，特别是大尺寸样品，如 8 英寸晶圆、12 寸晶圆等。
也可满足不同应用的测试，如直流测试、射频测试等。
CH 系列高端探针台
- 产品描述
- 规格参数
- 资料下载
- 视频
-
用途
- 应用范围可适用于多种晶圆量测应用，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)
- 测试IV曲线，CV曲线，LIV曲线，RF测试，高压大电流测试
人体工程学和可选配置
- 可调节针座平台快速升降便于样品和探针快速分离
- 卡盘旋转转锁定
- 针座平台接受直流/射频定位器（磁性或真空安装）
- 提供多种配置，包括各种卡盘选项、DC/RF/高压1~10KV、微型定位器、显微镜、相机、PCB 支架等
-
技术参数
型号 CH-8
CH-12
台体
Chuck尺寸
8英寸
12英寸
样品台抽拉
行程：110mm
行程：150mm
样品台旋转
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
样品固定方式
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
样品台Z轴升降
可升降8mm
X-Y移动行程
8英寸*8英寸
X-Y气浮移动
可360°气浮移动，便于快速定位样品
X-Y移动精度
1um
针座平台
可快速升降5mm以及微调升降25mm
背电极测试
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极(可选项)
显微镜
显微镜固定方式
龙门架带X-Y微调，移动范围2"×2"
显微镜便捷性
含快速倾仰装置，便于更换物镜，带锁死功能气动升降模块(可选)
显微镜类型
单筒显微镜
体式显微镜
金相显微镜
放大倍率
0.75-5X变倍
16X-100X
20X-4000X
光源
同轴光源
外置LED环形光源
CCD
200万像素(可升级2000万像素)
其他功能
可加载激光器
探针座
X-Y-Z移动行程
12mm*12mm*12mm/20mm*20mm*20mm
移动精度
10um/2um/0.7um/0.5um
吸附方式
磁力吸附/真空吸附
DC调节点测角度
0-30°
RF调节角度
线缆
多点探头调水平旋钮，可以+-10°调节，精度0.1度
探针夹具
同轴线/三轴线/射频线
漏电精度
10pA/100fA/10fA
固定探针
弹簧固定/管状固定/爪式固定
接头类型
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口
探针
DC针尖直径
1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探针频率
40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
材质
钨钢/铍铜/镀镍
外形尺寸
750W*820D*650H
925W*947D*815H
重量
约103千克
约 1 7 0 千 克
可选附件
加热台
镀金卡盘
防震桌
屏蔽箱
根据客户要求定制
CH-8
CH-8