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CP300 半自动探针台


多倍率光学显示系统

兼容12”、8”、6”、4”的晶圆测试及碎片测试

内部空气减震系统,有效隔离外部震动

综合控制系统,快速接入仪器测试

软件自动化测试,机械精度精确校准

X-Y轴移动速度:70mm/sec,重复定位精度:≤±1μm

Z轴移动速度:20mm/sec,Z轴重复定位精度:≤±μm

R轴精度0.0001°,重复定位精度:≤±1μm

所属分类:

CP系列半自动探针台

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  • 适用于: 光模块芯片硅光测试、功率器件高压大电流测试、射频、毫米波、负载牵引测试、IC设计验证,可加载高低温测试,温度范围-60℃C~300℃℃。

    • 多倍率光学显示系统
    • 兼容12”、8”、6”、4”的晶圆测试及碎片测试
    • 内部空气减震系统,有效隔离外部震动
    • 综合控制系统,快速接入仪器测试
    • 软件自动化测试,机械精度精确校准
    • X-Y轴移动速度:70mm/sec,重复定位精度:≤±1μm
    • Z轴移动速度:20mm/sec,Z轴重复定位精度:≤±μm
    • R轴精度0.0001°,重复定位精度:≤±1μm