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CP300 半自动探针台
多倍率光学显示系统
兼容12”、8”、6”、4”的晶圆测试及碎片测试
内部空气减震系统,有效隔离外部震动
综合控制系统,快速接入仪器测试
软件自动化测试,机械精度精确校准
X-Y轴移动速度:70mm/sec,重复定位精度:≤±1μm
Z轴移动速度:20mm/sec,Z轴重复定位精度:≤±μm
R轴精度0.0001°,重复定位精度:≤±1μm
所属分类:
CP系列半自动探针台
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适用于: 光模块芯片硅光测试、功率器件高压大电流测试、射频、毫米波、负载牵引测试、IC设计验证,可加载高低温测试,温度范围-60℃C~300℃℃。
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- 多倍率光学显示系统
- 兼容12”、8”、6”、4”的晶圆测试及碎片测试
- 内部空气减震系统,有效隔离外部震动
- 综合控制系统,快速接入仪器测试
- 软件自动化测试,机械精度精确校准
- X-Y轴移动速度:70mm/sec,重复定位精度:≤±1μm
- Z轴移动速度:20mm/sec,Z轴重复定位精度:≤±μm
- R轴精度0.0001°,重复定位精度:≤±1μm